【摘 要】
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Air Products公司提升NF3产能Air Products公司称,它已使其在美国Home-town的三氟化氮(NF3)装置产能提高11%,达到1000t/a。该公司早先还宣布将于2008年第1季度使该装置再增加
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Air Products公司提升NF3产能Air Products公司称,它已使其在美国Home-town的三氟化氮(NF3)装置产能提高11%,达到1000t/a。该公司早先还宣布将于2008年第1季度使该装置再增加500t/a产能,并于2009年上半年使该装置产能再翻一番。NF3主要在半导体制造、平板显示器及其他电子产品生产中用作一种腔室清洗气体。
Air Products Boosts NF3 Production Air Products said it has increased its nitrogen trifluoride (NF3) plant capacity in the US home-town by 11% to 1,000t / a. Earlier, the company also announced that it will add another 500t / a to the unit in the first quarter of 2008 and double the capacity in the first half of 2009. NF3 is mainly used as a chamber cleaning gas in the manufacture of semiconductors, flat panel displays and other electronic products.
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