【摘 要】
：
研究了应用链式扩散设备对经过制绒、清洗、扩散和刻蚀处理后的单晶P型硅片进行热氧化SiO2膜的生长。采用准稳态光电导衰减法(QSSPC)在室温条件下对氧化前后硅片的少子寿命进
【机 构】
：
江南大学理学院; 无锡尚德太阳能电力有限公司; 江南大学物联网工程学院; 江苏省(尚德)光伏技术研究院;
论文部分内容阅读
研究了应用链式扩散设备对经过制绒、清洗、扩散和刻蚀处理后的单晶P型硅片进行热氧化SiO2膜的生长。采用准稳态光电导衰减法(QSSPC)在室温条件下对氧化前后硅片的少子寿命进行测试,探讨了氧化工艺条件对少子寿命、SiO2薄膜质量的影响机理,并对氧化工艺进行了优化。实验结果表明:在氧气流量为20L/min,带速为13i/m,氧化工艺区阶梯式温度设置为600、800、800、800、800、800、850和900℃时,链式氧化后硅片少子寿命达到42.5μs,SiO2膜的厚度适合,结构致密;在不影响减反效果的情况下,获得了良好的钝化效果。
其他文献
本文结合反重力铸造的工艺特点，对用于生产大型复杂薄壁铸件的大型反重力铸造设备及其控制技术进行了研究。论文首先在提出大型反重力铸造设备主体结构方案的基础上，对设备主体
<正> 婴幼儿消化不良和营养不良,是儿科常见的疾病,病因复杂症征多样,所损害的脏腑机能亦复广阔,同时互为因果,若不及时治疗迁延过久,则不仅影响小儿的发育,且易生其他并发病
目的:探讨MSCT微血管半定量技术对甲状腺结节的诊断价值。方法:将159例经手术病理证实的甲状腺结节(共210个,且囊变区<50%)患者纳入研究,其中结节性甲状腺肿84例130个结节,甲
在我国股市，二级市场的股票价格常常在短期内发生剧烈变化，这种脱离公司基本面的股价短期内大幅波动(以下简称股价大幅波动)异常现象，与有效市场理论相悖，与证券市场的“三公原则
改革开放20年来，中国经济进入了持续增长的高速发展时期，民营企业已经成为耀眼的经济增长极，是推动我国经济发展的重要生力军。有资料显示，目前我国民营企业的数量超过2930万户，占
目的探讨表没食子儿茶素没食子酸酯(EGCG)对刀豆蛋白A(ConA)诱导的小鼠肝损伤的保护作用及其作用机制。方法 40只小鼠随机分为对照组、EGCG对照组、ConA模型组及EGCG+ConA组
云南高校培养南亚东南亚国际化人才在管理机构建制、语种开设覆盖面等方面取得了一些成绩,但从协同培养机制看,存在着协同培养人才的理念不成熟、协同培养人才的组织机构不完
采用LCpro+全自动便携式光合仪同时测定了长春、长岭和白城3个生境防风的光合作用及环境因子,研究不同生境防风净光合速率、蒸腾速率及水分利用效率等日变化特征及其与生态因
在“晒文化·晒风景”大型文旅推介活动中，各区县以山水为体、以文化为魂，各美其美、美美与共，深度呈现了“山水之城·美丽之地”的“颜值”和“气质”，提振了巴渝儿女的文化自信