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简要评述硅基光波导的结构，工艺及其器件，包括低损耗的硅基光波导，电光波导器件，红外波导探测器，氧化硅光回路等。
硅基光波导结构与器件
【摘 要】
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简要评述硅基光波导的结构，工艺及其器件，包括低损耗的硅基光波导，电光波导器件，红外波导探测器，氧化硅光回路等。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1996年1期
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