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介绍了在芯片加工过程中用于芯片搬运的一种三自由度机械手。该机械手中设置有三个吸头,各个吸头之间的间距可调,能够实现三个芯片的同时抓取动作,同时又可适应不同间距的写头和料盘的应用要求。该机械手明显提高了生产效率和精度,实现了芯片加工的自动化。在全面深入地总结相关文献的基础上,还针对与课题相关的理论和实际问题进行了比较全面、深入、系统地研究,取得了一些具有理论意义与工程实际价值的成果。