【摘 要】
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讨论了化学试剂和水中的杂质对集成电路失败率的影响。介绍了试剂水的标准、制备方法和工艺流程，以及在设计试剂水系统时应注意材质选择、消毒灭菌等。还有不同供水方式对水质
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讨论了化学试剂和水中的杂质对集成电路失败率的影响。介绍了试剂水的标准、制备方法和工艺流程，以及在设计试剂水系统时应注意材质选择、消毒灭菌等。还有不同供水方式对水质的影响。
The effects of chemical reagents and impurities in water on the failure rate of integrated circuits are discussed. Introduced the standard of reagent water, preparation method and process, as well as the design of reagent water system should pay attention to material selection, sterilization and so on. There are different ways of water supply on the impact of water quality.
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