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采用蒸发镀膜方法，在孔径约为200nm的多孔阳极氧化铝（AAO）模板上室温沉积名义厚度为300nm的银薄膜样品。研究真空退火对AA0模板上Ag纳米颗粒膜的结构和光学性质的影响。微观结构利用X射线衍射仪和扫描电镜观测，光学性质采用分光光度计检测。结果表明，（111）取向的银衍射峰强度随退火温度的升高逐渐增强，当退火温度为250oC时达到最大值：银纳米颗粒平均直经随退火温度的升高呈现先缓慢增大，后迅速增大，再减小的态势，当退火温度为250qC时达到最大值140nm，比制备态大47nm；薄膜经真空退火后，漫反射