提高湿敏电容测量精度的方法

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高分子薄膜湿敏电容是目前湿度测量经常使用的传感器,其基本原理是在高分子薄膜的上下表面蒸镀一层微孔电极,构成一平行板电容器。当测量气体的相对湿度发生变化时,高分子薄膜在吸湿或脱湿过程中其介电常数ε变化,使湿敏电容的容量与被测气体的相对湿度近似为正比例变化,再将容量变化转化成频率信号即可测量相对湿度。但是,湿敏电容的灵敏度漂移较大,参数的一致性较差。如果硬件采用差频测量方法,并配合相应的软件进行数据处理,在一定程度可以消除传感器调理电路电源波动、环境温度变化、分布电容对测量精度的影响。
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