大行程高精度微驱动系统的建模研究

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通过模块化方法,分别对某压电陶瓷驱动的新型大行程、高精度微驱动器驱动部分、传动部分进行物理、数学建模,得到系统的传递函数,并通过matlab软件进行仿真计算,得出系统的开环伯德图,进行稳定性分析,为微驱动系统闭环控制研究提供理论基础。 Through the modularization method, the driving and driving parts of a new large-stroke and high-precision micro-actuator driven by a piezoelectric ceramic are respectively physically and mathematically modeled, and the transfer function of the system is obtained. The simulation results by matlab software show that the system Open-loop Byrd diagram for stability analysis, providing a theoretical basis for the study of closed-loop control of micro-drive system.
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