【摘 要】
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气体离子注入技术在很多领域里获得了广泛的应用 ,取得了明显的经济效益和技术成果。它在半导体集成电路技术中已成为核心技术。金属离子注入技术是一项新技术 ,1 985年美国
【机 构】
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气体离子注入技术在很多领域里获得了广泛的应用 ,取得了明显的经济效益和技术成果。它在半导体集成电路技术中已成为核心技术。金属离子注入技术是一项新技术 ,1 985年美国布朗教授发表了他的成果——强脉冲金属离子源 ,并研制成功了小型离子注入设备。这使得金属离子注入技术
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