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随着科学技术的不断发展,薄膜材料在光学、电子技术、原子物理、半导体技术、宇宙技术等领域得到了日益广泛的应用,推动了薄膜制备技术的蓬勃发展,许多新型的镀膜方法与工艺也不断涌现.
学生实验真空镀膜机的设计与制作
【摘 要】
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随着科学技术的不断发展,薄膜材料在光学、电子技术、原子物理、半导体技术、宇宙技术等领域得到了日益广泛的应用,推动了薄膜制备技术的蓬勃发展,许多新型的镀膜方法与工艺
【机 构】
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湘潭大学材料与光电物理学院
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2003年5期
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