横向负载下三维微触觉传感器的力学模型

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 5次 | 上传用户：liusha5188

【摘要】

：

提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型,用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算.利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布,分布曲线与理论曲线的偏差小于3.870/0,最大应力的仿真和理论偏差小于3.630/0.通过一个已完成传感器的性能标定,灵敏度的实验和理论误差为7.790/0,实验值

【作者】

：

李源栗大超胡小唐赵大博傅星

【机构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

微结构尺寸测量微机电系统微触觉传感器力学模型横向负载 dimension measurement of micro structure micro e

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