航天微电子技术中AlN 陶瓷的应用

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1 引言 由于现代武器系统的控制和制导几乎均由电子装置组成,所以微电子技术一旦与武器系统紧密结合,必将使武器的命中率、反应速度、机动性能大为改善,是新一代武器系统小型化、微型化、电子化、信息化、智能化的唯一有效的技术途径。尤其是VLSI、ULSI、VHSIC 对整个军用武器装备,航天、国防现代化已不再是基础技术,同时也是核心型技术、先导型技术,关键技术。与此同时,半导体工业也被誉为支撑电
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