基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究

来源 :中国微米纳米技术第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wanglinux_0208

【摘要】

：

本文采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si上用溶胶-凝胶法制备,然后在600℃下退火.PZT微力传感器完全由MEMS体硅加工工艺来实现.

【作者】

：

崔岩佟建华董维杰王立鼎

【机构】

：

大连理工大学,大连,116023

【出处】

：

中国微米纳米技术第七届学术年会

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

PZT薄膜微力传感器标定双晶片

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

　　本文采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si<100>上用溶胶-凝胶法制备,然后在600℃下退火.PZT微力传感器完全由MEMS体硅加工工艺来实现.

其他文献

废旧塑料的回收利用及其新近展

期刊

废旧塑料废料回收废料利用

现代营销特征对企业重构的影响及其思考

分析了现代营销特征及企业管理变革的新趋势，论述了现代营销特征对企业重构的影响，以及我国企业如何进行改革的对策思考。

期刊

营销特征企业重构企业管理

载人航天器舱门真空检漏设备研制

载人航天器对舱门的密封性能要求很高,其密封性能的好坏将直接影响宇航员的生命安全。为了确保舱门的密封性能,必须要进行大量的检漏试验。随着我国载人航天器的发展,需要研

期刊

载人航天器舱门真空检漏manned spacecrafthatchvacuum leak testing

大型低扬程水泵机组结构分析比较研究

简述了我国大型低扬程水泵及配套电机的结构功能形式,从安全性、稳定性、可靠性、耐久性、安装性、维修性和系统效率等方面,对各种结构功能进行了全面比较,分析了关键部件结

期刊

大型低扬程水泵机组结构比较选用large pump unitsstructurescomparisonsselection

儿童肾脏恶性横纹肌样瘤

目的分析儿童肾脏恶性横纹肌样瘤临床特征。方法 2014年4月—2016年12月,收治5例儿童肾脏恶性横纹肌样瘤。结果单侧100%,术前明确诊断,发现转移4例,4例患者术后均未见复发与

期刊

儿童肾脏恶性横纹肌样瘤childrenkidneymalignant rhabdoid tumor

铷原子频标小型磁控管微波谐振腔一体化研究

微波谐振腔是铷原子频标的关键部件,决定着铷原子频标物理部分的鉴频特性。为提高铷原子频标微波谐振腔频率控制精度及实现其小型化,在理论分析和微波谐振腔的仿真分析基础上

期刊

铷原子频标小型微波谐振腔一体化rubidium atomic frequency standardminiature cavityaccuracy

客运专线电分相列控数据编制及相关问题研究

正1接触网电分相结构及断/合电要求我国电气化铁路一般采用27.5kV单相工频交流供电制式,为平衡三相供电负荷,提高电力系统利用率,牵引变电所采用轮换接线、换相分段供电方

期刊

过电分相动车组客运专线接触网数据编制分相结构无电区自动过分相列控系统高速铁路

典型红外光学薄膜材料折射率温度特性研究

红外光学薄膜材料在红外光学系统中的应用非常广泛,其折射率是光学薄膜设计的重要参量,鉴于空间应用的特殊需求,红外光学薄膜通常工作在低温条件下,红外光学薄膜材料的折射率

期刊

红外光学薄膜材料折射率温度特性infrared optical filmrefractive indextemperature character

政治经济学自学方法(解答问题)应注意的若干问题

【正】马克思主义的政治经济学对于部门经济学来说,是基础、总论并具有方法论的意义.政治经济学研究的对象不是局部的经济现象,而是社会经济的本质及其运行机制.学习资本主

期刊

国家资本主义经济体制改革运行机制社会经济经济现象中共中央生产关系经济规律政治经济学按劳分配

蚕食清创法联合美宝湿润烧伤膏治疗糖尿病足

糖尿病足是糖尿病的严重并发症,本文分析糖尿病足的病理机制,探讨蚕食清创法联合美宝湿润烧伤膏对糖尿病足引发的治疗效果,并与传统治疗方案进行对比,评估其临床应用价值。

期刊

蚕食清创法美宝湿润烧伤膏糖尿病足

基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究

与本文相关的学术论文