论文部分内容阅读
本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构，以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理。
等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜
【摘 要】
：
本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构，以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理。
【机 构】
：
中国科学院成都有机化学研究所
【出 处】
：
物理
【发表日期】
：
1990年3期
其他文献
【正】 现身情态(Befindlichkeit)是“此”之在活动于其中的生存论结构之一。领会(Verstehen)同现身一样源始地构成此之在。现身向来有其领悟(Verstndnis),即使现身抑制着领
近年来,随着科学技术迅猛发展,教育技术手段也越来越多样化,教学中除了传统的教学手段以外,现代教育手段如录像、多媒体课件和网络技术等先进的教学媒体,也越来越多地应用到
本文对智能传感器作了简要介绍，概述了其特征和发展情况，并用实例说明了实现智能传感器的几种途径．最后对智能传感器技术发展提出了一些看法．
金属合金与金刚石的粘结（焊接）问题是金刚石工具及制品制造技术的关键．本文介绍了作者从金刚石与金属合金界面反应出发，探索二者之浸润与粘结的机理，解决了加入强碳化物形成元素于
本文介绍了一种适用于火焰、流体、等离子体、光纤棒等透明介质的无损诊断技术──光学层面分析（optical tomography）．这一诊断技术是利用激光和计算机技术对透明介质的某一层面
要建造功能比现有的更强大的超级计算机、新型雷达，或在微波段以上甚高频率下工作的通讯卫星，就需要超高速的半导体器件．亚微米器件就是为了适应这种需要而发展起来的．在亚微米器
学科是医疗卫生单位的基础,学科建设在医疗单位发展中起着举足轻重的作用,而学科带头人是学科建设的"龙头",其综合水平直接影响着所在科室的医疗、教学、科研等工作的质量及