ZBO(ZnO:B)靶材烧结机理与特征的研究

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用常压烧结方法,在1200℃-1350℃烧结不同含B量的掺硼氧化锌(ZBO)靶材。研究了掺杂量、烧结温度对ZBO靶材微观结构的影响。实验表明,随着烧结温度的增加。ZBO陶瓷的晶粒大小和密度逐渐增大。指出了由于B2O3的挥发,造成ZBO靶材的剩余含B量与掺B量的不符,要获得含定量B的ZBO就必须掺入大约2倍所需量的B2O3。
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