压电驱动无阀微泵泵腔流场分析

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介绍了无阀微泵的工作原理,对无阀微泵的流量与效率进行了理论分析,利用ANSYS软件对微泵泵腔内的三维流场进行了有限元数值模拟.所作的研究对于无阀微泵的设计和应用具有指导意义.
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