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球冠形双栅网间距测量方法的实验研究
球冠形双栅网间距测量方法的实验研究
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:f54265932
【摘 要】
:
采用“精密机械-显微镜-CCD-图象处理-光栅测量-计算机控制”的总体测量方案,用图象处理方法实现了光学非接触对准,用光栅系统测量轴向距离,成功地解决了双栅网间距的测量难题。
【作 者】
:
李庆祥
汪建军
【机 构】
:
清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
球冠形栅网
显微镜
图象处理
计算机
光学测量
Spherical grid
Microscope
Image processing
Computer c
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采用“精密机械-显微镜-CCD-图象处理-光栅测量-计算机控制”的总体测量方案,用图象处理方法实现了光学非接触对准,用光栅系统测量轴向距离,成功地解决了双栅网间距的测量难题。
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