硅基多孔阳极氧化铝模板的制备研究

来源 :湖北民族学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：bb790858108

【摘要】

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利用电子束蒸发在硅衬底上制备Al膜,并制备硅基阳极氧化铝（AAO）模板;利用X射线衍射和扫描电子显微镜对模板的结构和形貌进行了表征;利用计算机对阳极氧化电流的实时观测监控了

【作者】

：

吴国伟汪晶方小利刘文秋李美亚朱永丹

【机构】

：

武汉大学物理科学与技术学院,湖北民族学院信息工程学院

【出处】

：

湖北民族学院学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

多孔氧化铝(AAO)模板硅基 SEM 生长机理 porous alumina（AAO）template silicon SEM growth mechanis

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利用电子束蒸发在硅衬底上制备Al膜,并制备硅基阳极氧化铝（AAO）模板;利用X射线衍射和扫描电子显微镜对模板的结构和形貌进行了表征;利用计算机对阳极氧化电流的实时观测监控了硅基AAO模板的自组装过程.优化了制备孔洞规则的高质量硅基阳极氧化铝模板的条件,该模板对进一步研究硅基AAO模板多铁功能纳米管线及相应的器件奠定了基础.

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