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原子力显微镜（AFM）是纳米科技研究中一个重要工具。影响AFM测量图像质量的因素很多，本文从AFM扫描参数选择的角度，研究扫描参数对样品表面均方根粗糙度的影响。实验和理论分析表明，扫描速度、反馈控制参数中的比例常数P和积分常数J的选择均对样品的表面粗糙度测量及评定产生影响。
AFM扫描参数对表面粗糙度测量的影响分析
【摘 要】
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原子力显微镜（AFM）是纳米科技研究中一个重要工具。影响AFM测量图像质量的因素很多，本文从AFM扫描参数选择的角度，研究扫描参数对样品表面均方根粗糙度的影响。实验和理论分析表
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2007年1期
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