【摘 要】
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采用直流磁控溅射法在石英玻璃基片上制备不同厚度的FePd纳米颗粒膜,利用X射线衍射仪、X射线能谱仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜和振动样品磁强计表征薄膜的结构和磁性能
【机 构】
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桂林电子科技大学材料科学与工程学院,桂林电子科技大学广西信息材料重点实验室
【基金项目】
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广西自然科学基金(2016GXNSFAA380030,2013GXNSFBA019242,2016GXNSFGA380001),广西研究生教育创新计划资助项目(YCSZ2014140)
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采用直流磁控溅射法在石英玻璃基片上制备不同厚度的FePd纳米颗粒膜,利用X射线衍射仪、X射线能谱仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜和振动样品磁强计表征薄膜的结构和磁性能。结果表明,经过550℃热处理3 h后,薄膜的X射线衍射谱中出现(002)超晶格衍射峰,表明薄膜中出现了四方有序结构。随着薄膜厚度的减小其有序化程度增加,在膜厚为47 nm时,样品矫顽力达到3.5 kOe,剩磁比达到0.94,最大磁能积((BH)max)达到17.6 MGOe。FePd薄膜的相转变温度降低,磁性能较好。
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