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研究了热分解气氛对溶胶-凝胶法制备在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上的Bi3．25La0.75Ti3O12（BLT）薄膜铁电性能的影响。在400℃时空气或氧气气氛下热分解20min，接着在700℃时氧气气氛下退火30min。氧气气氛下的热分解能充分分解掉薄膜中的有机成分，而空气气氛下的热分解使炭、氢有机成分部分残留在薄膜中。有机成分的不完全分解影响了退火过程中BLT薄膜晶化时晶粒的生长。表现出生长取向和晶粒尺寸对BLT薄膜铁电性能的影响。氧气和空气气氛下热分解的薄膜的剩余极化（Pr）和矫顽电场（Ec）分别