论文部分内容阅读
研究了热分解气氛对溶胶-凝胶法制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的Bi3.25La0.75Ti3O12(BLT)薄膜铁电性能的影响。在400℃时空气或氧气气氛下热分解20min,接着在700℃时氧气气氛下退火30min。氧气气氛下的热分解能充分分解掉薄膜中的有机成分,而空气气氛下的热分解使炭、氢有机成分部分残留在薄膜中。有机成分的不完全分解影响了退火过程中BLT薄膜晶化时晶粒的生长。表现出生长取向和晶粒尺寸对BLT薄膜铁电性能的影响。氧气和空气气氛下热分解的薄膜的剩余极化(Pr)和矫顽电场(Ec)分别