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根据无阀微泵的工作原理，对泵膜-流体耦合振动过程进行理论分析，推导出此状态下的非线性耦合振动方程，并采用伽辽金加权最小余量法得出方程的近似解。在此基础上讨论阻尼系数、驱动力及薄膜固有频率与薄膜振幅、相位差及无阀泵流量的关系。理论分析表明在阻尼系数较小时，在一阶固有频率附近还存在振幅增大的现象，随着阻尼系数的增大，流体对泵膜的阻力逐渐增大，振幅随着频率的增大迅速衰减，相位差也越来越快地靠近90°；驱动力一定的情况下，薄膜的固有频率越低，薄膜在低频段振动可以达到的振幅越大；对于流量而言，在低频段，流