供超高真空用的简单结实高纯度Cr蒸发器

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通过将Cr金属电镀到一根发针形W丝的尖端,来制造一种简单结实的Cr蒸发器。离蒸发器5cm下,可获得高达10nmmin^-1的沉积速率,总沉积厚度超过400nm。对沉积在超高真空的薄膜进行俄歇Auger分析的结果表明,薄膜中所含的杂质已少至不可检测。
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