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硅的腐蚀方法及形式很多。本文主要介绍酸性湿式各向同性腐蚀,涉及硅在硝酸—氢氟酸中的腐蚀机理、腐蚀时发生的反应控制类型、影响硅腐蚀速度的各种因素以及常用的腐蚀配方及其一些最新进展。
硅的化学腐蚀(综述)
【摘 要】
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硅的腐蚀方法及形式很多。本文主要介绍酸性湿式各向同性腐蚀,涉及硅在硝酸—氢氟酸中的腐蚀机理、腐蚀时发生的反应控制类型、影响硅腐蚀速度的各种因素以及常用的腐蚀配方
【出 处】
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特殊电工
【发表日期】
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1983年03期
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