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介绍了一种广泛应用于离子刻蚀、预清洗和离子束辅助镀膜的阳极层离子源的工作原理。分析了磁场对其性能的影响。给出了线性阳极层离子源磁路的设计。采用ANSYS有限元分析软件对线性阳极层离子源的静态电磁场进行了模拟分析。并与实验结果进行了比较，结果令人满意。通过ANSYS编码对电磁场模拟，可为具体的阳极层离子源的改进设计提供指导。