金属有机化合物汽相外延碲镉汞薄膜的进展

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回顾了金属有机化合物汽相外延碲镉汞薄膜的发展历程,简要叙述了MOVPEHgCdTe薄膜的三种主要技术,与HgCdTe晶格匹配和失配的衬底材料,各种金属有机物源和掺杂研究的新近进展。还介绍了MOVPE-HgCdTe薄膜和探测器目前达到的水平。大量结果已经表明,MOVPE生长的HgCdTe薄膜的质量适合于制造高质量的光伏型探测器,MOVPE是一种原位生长先进的HgCdTe红外焦平面列阵既实用又富生命力
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