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老炼试验是能将早期失效剔除的无损试验技术，是集成电路筛选流程中重要的一环，试验过程中随时监测受试器件工作状态是提高试验水平的重要手段。主要研究如何在老炼试验过程中实时监测受试器件的工作状态。通过对受试器件输出波形进行采样隔离、频率处理，并与预定波形相比较，以判断器件是否正常工作，且具备监测异常自动报警的功能。实现了有效提高状态监测工作效率、成本低、使用维护简单的监测方法和装置，为提高筛选质量提供了可行的保障手段。