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以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜。并采用x射线衍射、场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N-In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响。结果表明:通过氮-铟共掺杂.ZnO基薄膜具有良好的的电学性能,但是均为n型导电,与相关文献中的结果完全相反。