【摘 要】
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利用ＩＢＡＤ技术在核材料模拟基体（Ａ３钢）上制备ＺｒＮ和ＺｒＣ薄膜，为作对比又用射频溅射法制备Ｔｅｆｌｏｎ薄膜．对不同条件下获得的镀膜试样进行耐腐蚀性能测试．结果表明：各种膜层的耐腐蚀性能都较好；对同种材料其膜
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利用ＩＢＡＤ技术在核材料模拟基体（Ａ３钢）上制备ＺｒＮ和ＺｒＣ薄膜，为作对比又用射频溅射法制备Ｔｅｆｌｏｎ薄膜．对不同条件下获得的镀膜试样进行耐腐蚀性能测试．结果表明：各种膜层的耐腐蚀性能都较好；对同种材料其膜层的耐腐蚀性能随厚度的增加而增强；ＺｒＣ膜层的耐腐蚀性能远好于ＺｒＮ和Ｔｅｆｌｏｎ膜层．
ZrN and ZrC films were prepared on a simulated nuclear material substrate (A3 steel) using IBAD technology, and Teflon films were also prepared by radio frequency sputtering for comparison. The corrosion resistance of the coated samples obtained under different conditions was tested. The results show that the corrosion resistance of all kinds of films is good; the corrosion resistance of the films of the same kind of materials increases with the increase of thickness; the corrosion resistance of ZrC films is much better than that of ZrN and Teflon films.
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