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对以Si为衬底的钇钡铜氧（分子式：Y1Ba2Cu3O7-δδ≥0.5，简称：YBCO）半导体薄膜的宽光谱响应特性进行了研究。采用该薄膜作灵敏元的单元测辐射热计分别对红外波段（1－15μm）、亚毫米波段（5个波长）及毫米波（3mm）进行光谱响应测试，结果表明这种半导体探测器不仅在红外波段，而且在亚毫米波甚至毫米波段都有良好的响应特性。该薄膜是继VO2薄膜之后用于非制冷红外焦平面的一种新材料。