【摘 要】
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本文阐述了利用扫描电子显微镜SEM进行精密机械位移量和微小尺寸测量的一种方法。用一台旧式的SEM(JSM——U_3型)经改造,并和激光干涉仪及微处理机构成一台精密测量装置。这
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本文阐述了利用扫描电子显微镜SEM进行精密机械位移量和微小尺寸测量的一种方法。用一台旧式的SEM(JSM——U_3型)经改造,并和激光干涉仪及微处理机构成一台精密测量装置。这台经改制的精密尺寸测量装置可以定位瞄准和测量0.3～10um范围内的小位移量及微小尺寸,其测量的不准确度在0.05um以内。
This article describes a method for the measurement of precision mechanical displacement and small dimensions using a scanning electron microscope SEM. An older SEM (Model JSM - U_3) was retrofitted to form a precision measuring device with a laser interferometer and a microprocessor. This modified precision size measuring device can target aiming and measuring small displacements within the range of 0.3 ~ 10um and small size, the measurement of inaccuracy within 0.05um.
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