四甲基氢氧化铵溶液中阴离子含量检测方法

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提出了一种对低浓度四甲基氢氧化铵溶液中氟离子、氯离子、溴离子、亚硝酸根离子、硝酸根离子、硫酸根离子和磷酸根离子含量的检测方法。TMAH溶液稀释质量浓度为2.38%,经在线浓缩处理,离子色谱仪检测,该方法六种阴离子的检出限21~109 ng/L,定量限70~360 ng/L,线性相关系数>0.999,5.0μg/L加标回收率98%~128%。该方法对TMAH溶液中常见的六种阴离子组分检测结果良好,可满足半导体及面板行业用TMAH溶液的检测需求。
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