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单片集成长波长光接收机
单片集成长波长光接收机
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanwan1985
【摘 要】
:
介绍了利用InGaAs 长波长金属-半导体-金属(MSM)光探测器与InAlAs/InGaAs 高电子迁移率晶体管(HEMT)集成来实现长波长单片集成光接收机的材料和电路设计、关键工艺途径等,解
【作 者】
:
敖金平
刘伟吉
李献杰
曾庆明
赵永林
乔树允
徐晓春
王全
【机 构】
:
河北半导体研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2002年1期
【关键词】
:
OEIC
单片集成
光接收机
OEICmonolithic integration photoreceiver
【基金项目】
:
国家高技术研究发展计划(863计划)
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介绍了利用InGaAs 长波长金属-半导体-金属(MSM)光探测器与InAlAs/InGaAs 高电子迁移率晶体管(HEMT)集成来实现长波长单片集成光接收机的材料和电路设计、关键工艺途径等,解决了工艺兼容性问题,实现了2.5Gb/s传输速率下功能正确的单片集成长波长光接收机样品.
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