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改善多步法谐波抑制的新方法——鉴相法
改善多步法谐波抑制的新方法——鉴相法
来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alexl
【摘 要】
:
分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差,提出鉴相法误差分离技术。该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围,且使测量过程和测量系统大为简化,是建立纳米精度回
【作 者】
:
谭久彬
赵维谦
杨文国
【出 处】
:
中国机械工程
【发表日期】
:
2001年z1期
【关键词】
:
误差分离技术
鉴相法
圆轮廓
纳米级测量
error separation technologyphase distinguish methodcircular
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分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差,提出鉴相法误差分离技术。该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围,且使测量过程和测量系统大为简化,是建立纳米精度回转基准的一种较理想方法。
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