纳米级测量相关论文
精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展。而纳米级的位移测量技术又是制约精密......
近十几年来,STM、SPM作为钠米技术中的一个重要的研究工具,其应用得到了很大的发展,从表面形貌测量到各种物理特征量的检测与分析;......
基于光在介质界面的受抑全反射原理来测量精密表面的形貌，具有高精度、快速、大信息量、非接触、数据处理简便等特点。本文介绍了这......
纳米级测量是纳米技术研究的关键。本文对纳米测量中具有较大优势的ｘ射线测量技术的方案发展、原理及实验装置的实现进行了深入研究......
分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差，提出鉴相法误差分离技术。该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围，且使测......
美国国家标准和技术研究院（NIST）的研究人员正在检测最新的显微镜技术。该技术能够进一步提高纳米级物体测量的精确度，而更精确的纳米......
2013年12月4日，北京——安捷伦科技公司（NYSE：A）日前宣布推出7500原子力显微镜（AFM），它设定了新的性能、功能和易用性标准，以进行纳米级测......
针对投影光刻的特点,研究了一种基于扫描反射镜调制和三角测量原理的调焦调平系统.该系统遵循向甫鲁（SC）成像条件,并通过检测投影光......
为实现对工件表面微观形貌测量系统要求远距离传输、实时在线及非接触测量，同时达到高精度、高分辨力、高信噪比测量，提出基于声光调......
探讨了圆度、圆柱度计量标准的纳米级评定方法，分析并验证了测量安装的下，上截面偏心量分别不大于１μｍ和２μｍ时，对圆柱度误差采用线性化模......
在纳米尺度范围内，一些我们熟悉的材料特性会改变。因此随着向纳米领域探索的深入，不仅要表征新材料，而且越来越需要对熟知的材料进行......
