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本文阐述了薄膜型热释电探测器原理及其薄膜的制备方法,进一步分析、整理了薄膜制备过程中的条件及参数。
薄膜型热释电探测器及其薄膜的制备
【摘 要】
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本文阐述了薄膜型热释电探测器原理及其薄膜的制备方法,进一步分析、整理了薄膜制备过程中的条件及参数。
【机 构】
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北华大学
【出 处】
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大学物理实验
【发表日期】
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2009年2期
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