X-ray Photoelectron Spectroscopy Studies of TixAl1-xN Thin Films Prepared by RF Reactive Magnetron S

来源 :材料科学技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：long1024

【摘要】

：

TixAl1-xN films have been prepared by RF reactive magnetron sputtering. X-ray diffraction results showed that TixAl1-xN thin films in this study were hexagonal

【作者】

：

Rui XIONG Jing SHI

【机构】

：

DepartmentofPhysics,InternationalCenterforMaterialsPhysics

【出处】

：

材料科学技术：英文版

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

X射线光电子光谱学 TixAl1-xN薄膜 TixAl1-xN films X-ray photoelectron spectroscopy Core-

【基金项目】

：

国家自然科学基金，the Hubei Natural Science Foundation under

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TixAl1-xN films have been prepared by RF reactive magnetron sputtering. X-ray diffraction results showed that TixAl1-xN thin films in this study were hexagonal wurtzite structure with the Ti content up to 0.18. X-ray photoelectron spectrocopy studies prov

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