论文部分内容阅读
超纯氢气 (大于 6N)是半导体硅外延等工艺必备的工艺气体。文章介绍了利用超低温吸附的方法提纯大流量超纯氢气的工作原理 ,设备制造中的关键技术问题及难点 ,以及利用该技术制造的大流量超纯氢气纯化设备的使用效果
大流量超纯氢气纯化设备制造技术
【摘 要】
：
超纯氢气 (大于 6N)是半导体硅外延等工艺必备的工艺气体。文章介绍了利用超低温吸附的方法提纯大流量超纯氢气的工作原理 ,设备制造中的关键技术问题及难点 ,以及利用该技术
【机 构】
：
信息产业部
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2002年02期
其他文献
以某一历史人物为塑造对象，是歌剧创作的主要类型之一，这里且将之称为人物传记式歌剧。衡量这类作品成功与否的标准也很明确，就是要塑造出一个真实可信的人。实现这种“真实可信
<正> 综观世界各国的高等教育体制,国家的集中管理与高等学校的自治是一对永恒的矛盾。如何处理政府与高校之间的关系,做到既能够保持高校的办学自主权,又可以实现政府对高校
随着社会生产力的不断发展,经济的不断提高,交通问题逐渐受到人们所关注。如今在道路交通的建设时,由于软土路基在施工过程中遇到了很多的问题,或是处理措施不当,导致公路施
目的研究体位变动后对双腔气管导管位置的影响。方法择期开胸手术患者120例,ASAⅠ或Ⅱ级随机分为两组（n=60）左双腔气管组（L-DLT组）和右双腔支气管组（R-DLT组）。全麻诱导后分别插入
随着人们生活水平的提高以及社会经济的蓬勃发展,人类在追求经济效益的同时,对自然资源的需求量也在逐渐加大。而资源与社会经济两者之间有着千丝万缕的联系。我国的自然资源
2l世纪,从现状的角度对市场经济的迅速发展,价格不再是唯一的竞争因素,质量是非常重要的,因为质量关乎社会的公共利益、安全和企业的信誉。同时工程质量的好坏将决定企业未来
<正>团员青年是企业文化建设的主力军,在企业文化发展过程中扮演着重要角色。企业内部的共青团是团员联系的纽带,承载着企业文化建设的使命,这既是企业发展所赋予团组织的神
航道岸坡挡土墙施工完成后,其背后填土的施工直接影响到岸坡挡土墙的稳定性,进而影响航道岸坡挡土墙类型选用与结构稳定性,因此开展岸坡挡土墙墙后填土性能与施工方法的研究
<正>引言:通向民航强国的路究竟有多长2004年民航总局提出了"由民航大国走向民航强国"的宏伟目标,翌年中国民航运输总周转量就超出德国,成为仅次于美国的世界民航亚军;1978-2
本报阿图什12月4日讯 记者张令报道：4日上午，州党委理论中心组进行集体学习。州党委书记安征宇主持集体学习并强调，要充分认识《习近平谈治国理政》第二卷出版发行的重大意义，准
报纸