2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究

高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：blueskyxq

【摘 要】

：

为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列.本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论.最后的测

【作 者】

：

柯才军 易新建 赖建军 

【机 构】

：

华中科技大学光电系,华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室

【出 处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

有效孔径比 CCD 图像传感器 石英微透镜阵列 反应离子刻蚀 effective aperture ratio fused silica microlens C 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列.本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论.最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性.其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率.

其他文献

罗门哈斯电子材料公司的新型化学机械研磨液实现65nm节点下低介电质铜晶圆的制造

罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部是全球半导体产业化学机械研磨技术的领先者。目前，该部门推出了一种新型铜阻挡层化学机械研磨液，专门设计用来帮助用户处理90nm和65nm技术

期刊

化学机械平坦化电子材料技术节点介电质研磨液公司制造晶圆铜

水稻重大有害生物集成防控技术

依据达州水稻生产有害生物发生种类及其季节消长规律,以水稻生产进程为时序,以丰产栽培为基础,以重大有害生物为防控对象,以无害化防控措施为主导,集成组装了达州市水稻生产

期刊

水稻有害生物防控技术

电工知识及技能试卷(三十四)答案

期刊

引领农民发展生态农业，提高农业综合开发效益

湖南邵阳县邵阳县农业综合开发办公室2007年以来．把发展生态农业作为农业开发的着力点与切入点．积极引领农民发展生态农业．集中建设生态农业．为新农村建设提供了产业支撑和发展平

期刊

农业综合开发生态农业发展途径发展措施Comprehensive Agricultural Development Ecological Agricul

安捷伦出售半导体业务落袋36亿美元

目前测试设备制造商安捷伦公司宣布为了更加专注于其测量业务，将以26．6亿美元剥离半导体产品事业部，出售给Kohlberg Kravis Roberts和银湖伙伴公司。据消息称，安捷伦宣布启动一连

期刊

安捷伦公司半导体产品业务部门美元出售设备制造商伙伴重组

ADI推出5．8GHz数字无绳电话用RF芯片组

美国模拟器件公司(ADI)推出用于5．8GHz数字无绳电话和ISM上语音的RF芯片组--ADF7012、ADF7025和ADF4016。此系列RF芯片组采用工业、科学和医疗(ISM)频段发送器、收发器和PLL技

期刊

RF芯片数字无绳电话5.8GHzADI频段PLL美国模拟器件公司ADF工业ISM

SCB10-800／6．3型干式变压器的检查与试验

1SCB10-800／6．3型干式变压器的结构SCB10-800／6．3型干式变压器主要由环氧树脂浇注成圆筒形整体的高低压绕组、铁芯夹件、保护外壳、连接铜排、绝缘支持部件、有载分接开关等部分

期刊

干式变压器试验检查环氧树脂浇注有载分接开关安装使用低压绕组参数范围

把女生捧在手心,后进生拴在腰上

我校是一所职业技术学校，被招收到我校的学生大部分是在中考后未被普高录取的或思品较差的同学。我带的这个班级是一个纯女生班，所学专业为旅游管理。面对这样一群成绩平平、问题多多的职校女生，我们经常感叹做班主任难。要求高点，她们觉得压力大，想退学，给学校造成不必要的留生。要求低点儿，她们又会放任自己，无视学校的规章制度。所以根据学生的特点，尝试着把这些女生捧在手心，后进生拴在腰上，让学生和睦相处，班级和谐

期刊

后进生女生职业技术学校旅游管理规章制度和谐发展和睦相处学生

花生摘果水稻脱粒两用机

广州汇光力机械公司（电话：020-86461131）是农业机械出口生产基地企业．其生产的花生摘果、水稻脱粒汽油机、水稻收割机通过ISO9000国际体系质量认证，获得农业行业机械知名品牌称号，

期刊

水稻收割机脱粒摘果花生两用机ISO9000农业机械生产基地

日光温室沙葱栽培管理技术

依据近几年的实践经验,总结出沙葱在日光温室中的栽培管理技术。

期刊

沙葱栽培管理技术