热阴极辉光PACVD金刚石厚膜的生长特性

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gzhguozhihong

【摘要】

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对用热阴极辉光ＰＡＣＶＤ方法合成的金刚石厚膜，采用扫描电子显微镜进行了观察，研究了金刚石的生长机制． The diamond thick film synthesized by hot cathode glow PACVD method was ob

【作者】

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孙海平于三姜志刚李冬妹柳林金曾孙邹广田

【机构】

：

吉林大学超硬材料国家重点实验室

【出处】

：

吉林大学自然科学学报

【发表日期】

：

1996年02期

【关键词】

：

PACVD 厚膜金刚石结构阴极辉光化学气相沉积孪晶生长机制外延生长扫描电子显微镜热阴极

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对用热阴极辉光ＰＡＣＶＤ方法合成的金刚石厚膜，采用扫描电子显微镜进行了观察，研究了金刚石的生长机制． The diamond thick film synthesized by hot cathode glow PACVD method was observed by scanning electron microscope, and the growth mechanism of diamond was studied.

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