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在不同衬底温度下，用脉冲激光沉积法（PLD），在Al2O3（0001）平面上生长了ZnO薄膜。研究了衬底温度对其结晶质量、电学性质以及发光性质的影响。结果显示：XRD在2θ为34°处出现了唯一的ZnO（0002）衍射峰；ZnO薄膜的电阻率随衬底温度的升高而增大；在衬底温度为500℃时，出现了位于410nm附近的特殊的光致发光（PL）峰。