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以四异丙醇钛为钛源物质，采用常压化学气相沉积法制备了ＴｉＯ２膜，并对其光学性质进行了研究。实验结果表明，：沉积条件是影响ＴｉＯ２膜的沉积率和光学性质的重要因素。
CVD法TiO2薄膜的制备条件及光学性质的研究
【摘 要】
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以四异丙醇钛为钛源物质，采用常压化学气相沉积法制备了ＴｉＯ２膜，并对其光学性质进行了研究。实验结果表明，：沉积条件是影响ＴｉＯ２膜的沉积率和光学性质的重要因素。
【机 构】
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材料工程学院材料系
【出 处】
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太原理工大学学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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山西省留学归国人员基金
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