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把直流偏流引入到辉光放射粒子中.可增大发射谱线强度。20-30mA的偏流电流通常可使拥有3—4ev激发能的原子谱线发射强度增加10-10倍。增强系数很大程度上取决于等离子气体压力和射频功率。具有大约5、7ev激发能的原子发射谱线强度提高很多,增强系数超过50。然而与等离子条件无关,当激发能超过7ev时,发射谱线强度增加很小.