【摘 要】
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通过脉冲叠加直流偏压电弧离子镀设备制备Ti/TiN涂层,并进行了氧化试验。利用XRD、SEM、XPS对氧化后的涂层进行分析。结果表明,450℃以上,Ti/TiN涂层的力学性能急剧下降,在50
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通过脉冲叠加直流偏压电弧离子镀设备制备Ti/TiN涂层,并进行了氧化试验。利用XRD、SEM、XPS对氧化后的涂层进行分析。结果表明,450℃以上,Ti/TiN涂层的力学性能急剧下降,在500℃时开始有大量TiO_2生成,完全氧化后的TiO_2区域以白亮层形式存在。
The Ti / TiN coating was prepared by pulsed DC bias arc ion plating equipment and the oxidation test was carried out. The oxidized coating was analyzed by XRD, SEM and XPS. The results show that the mechanical properties of Ti / TiN coating decrease sharply above 450 ℃, and a large amount of TiO_2 begins to form at 500 ℃. The fully oxidized TiO_2 region appears as a white bright layer.
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