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我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效压电常数，比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果，测试了微位移机构的工作步长和工作速度，以及在斜面上的爬行能力。同时我们通过分析和选择驱动波型参数，更好地控制了微位移机构的行进方向和速度。
冲击式微位移机构的性能测试与分析
【摘 要】
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我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效压电常数，比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果，测试了微位移机构
【机 构】
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中国科技大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1999年01期
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