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研究了一种新颖的具有紧密型半球凹坑阵列表面结构的玻璃基片。运用严格耦合波分析（RCWA）方法研究了此玻璃基模型在光垂直入射条件下的透射衍射，数值结果表明此类玻璃基片可以有效地衍射光线。当结构周期在2．6μm附近时，玻璃基片在长波段（O．6～O．8μm）具有较高的雾度。为了改善薄膜电池的陷光效果，考虑将此玻璃基片运用到非晶硅薄膜太阳能电池结构中，数值结果表明与平板结构薄膜太阳能电池相比，当结构周期为2．6μm时，光垂直入射条件下非晶硅薄膜结构在0．3～O．8μm波段平均吸收率提高18．7％，在0．6～0．8