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本文介绍了 Si1-xGex 基区异质结双极晶体管（HBT）的特点;Si1-xGex 合金层的生长方法;两种 Si1-xGex 基区 npn 器件的结构和特性以及对 Si1-xGex 合金层质量估价和异质结特性的检测方法。更多还原
Si／si1—xGex异质结双极晶体管的研究概述
【摘 要】
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本文介绍了 Si1-xGex 基区异质结双极晶体管（HBT）的特点;Si1-xGex 合金层的生长方法;两种 Si1-xGex 基区 npn 器件的结构和特性以及对 Si1-xGex 合金层质量估价和异质结特性的
【机 构】
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辽宁大学电子科学与工程系,机械电子工业部东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1993年1期
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