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巧用光学构件形成平行光束回转，使结构简单而小型化，脉冲检测采用次摆线扫描，缩短了检测时间，利用光一次回转周期的脉冲振荡模式，能识别被测元器件的不同表面缺陷（伤痕，裂纹，裂缝等）、分布密度及其交错状态。
元器件表面缺陷新型检测装置
【摘 要】
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巧用光学构件形成平行光束回转，使结构简单而小型化，脉冲检测采用次摆线扫描，缩短了检测时间，利用光一次回转周期的脉冲振荡模式，能识别被测元器件的不同表面缺陷（伤痕，裂纹，裂缝等）、
【机 构】
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安徽立达信息技术研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2007年5期
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