【摘 要】
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为了分析角摆和转速对超精密全口径抛光机气浮转台静态特性的影响,建立了一种数值计算方法。将考虑角摆后的气膜厚度方程带入雷诺方程,此时的方程含有角摆和转速项,采用有限差分法进行离散并通过联合流量平衡方程进行数值求解。计算结果表明:单一角摆下,气浮转台的最大极限角摆为5×10-5rad,随着角摆的增大,气膜厚度最大值逐渐增大而最小值逐渐减小,压力分布发生改变,承载力逐渐降低。组合角摆下,气浮转台的最大极限角摆为4.9×10-5rad,组合角摆对气浮转台静态特性的影响规
【机 构】
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电子科技大学机械与电气工程学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合资助项目(No.U1830110),国防基础科研核基础科学挑战计划资助项目(No.TZ2016006-0501),中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(No.ZD18008)。
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为了分析角摆和转速对超精密全口径抛光机气浮转台静态特性的影响,建立了一种数值计算方法。将考虑角摆后的气膜厚度方程带入雷诺方程,此时的方程含有角摆和转速项,采用有限差分法进行离散并通过联合流量平衡方程进行数值求解。计算结果表明:单一角摆下,气浮转台的最大极限角摆为5×10-5rad,随着角摆的增大,气膜厚度最大值逐渐增大而最小值逐渐减小,压力分布发生改变,承载力逐渐降低。组合角摆下,气浮转台的最大极限角摆为4.9×10-5rad,组合角摆对气浮转台静态特性的影响规
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