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超精密气浮转台相关论文
超精密全口径抛光机气浮转台的静态特性
为了分析角摆和转速对超精密全口径抛光机气浮转台静态特性的影响,建立了一种数值计算方法。将考虑角摆后的气膜厚度方程带入雷诺......
期刊
超精密气浮转台
角摆
转速
有限差分法
静态特性
超精密气浮转台误差分析及补偿研究
超精密加工机床是一种用来加工高附加值产品及零部件的设备。作为超精密加工机床的核心部件,气浮转台性能的优劣决定了机床的可靠......
学位
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齿槽转矩
主轴回转分析仪
Soloist软件
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